Concept
Le réactif chimique de niveau MOS est l'abréviation de "Métal-oxyde-semiconducteur" (Métal-oxyde-semiconducteur) réactif pur spécial circuit, qui convient aux circuits intégrés à grande échelle (LSI) est une nouvelle catégorie de réactifs.
Définition
Il appartient au produit chimique spécial pour la production de circuits semi-conducteurs à oxyde métallique et est un réactif de haute pureté. Sa pureté nécessite que la teneur en impuretés d'un seul ion métallique soit comprise entre 10 et 7 % et 10 %. Le plus important est de contrôler le nombre d'impuretés particulaires (c'est-à-dire de poussières et de particules insolubles) dans le produit, qui doivent répondre à la norme "0" de l'American Society for Testing and Materials (ASTM), c'est-à-dire pour les particules d'une taille de 5 -10 microns, par 100 ml Le maximum autorisé est inférieur à 2700, et pour les particules d'une taille de 5 microns, il doit être inférieur à 304.
Usage
Les réactifs MOS sont principalement utilisés pour la recherche et la production de circuits intégrés à grande et très grande échelle.